光刻工艺落在我家旧工作台

上周整理我爸放在阳台的旧工作台,天蓝色的漆掉得七七八八,露出底下泛着黄的实木茬,抽屉拉到一半就卡壳,得晃两下才能完全拽出来。最里面的抽屉压着个磨起球的藏青绒布包,打开来是块指甲盖大小的半透明玻璃片,对着阳台的光看,上面布着细得几乎看不见的银灰色线路。我爸凑过来扫了一眼,没多惊讶,只说这是他当年练手剩的光刻工艺废片。

九十年代半导体车间光刻废片实物
九十年代半导体车间光刻废片实物

车间里照在手上的紫光

他刚二十出头就进了苏南的半导体车间,一干就是三十年,最开始碰光刻工艺的时候,师傅没教别的,先让他在车间门口站了三天,看里面的人怎么穿防护服,怎么吹掉手上的浮尘。

那光不是普通的亮。是紫的。

照在露在防护服外面的手腕上,刺得人麻酥酥的,像夏天被山蚊子叮了一口,但是疼的劲儿往骨头缝里钻。他那时候总记着师傅说的话,哪怕一粒头发丝千分之一粗的浮尘落在胶面上,整批光刻的片子就全成了没用的玻璃渣。涂胶的时候要把硅片稳稳放在转台中心,胶滴的位置差一毫米,转起来的厚度就不均匀,曝光的时候紫光照不透,线路就糊成一团。

有次他熬了三个大夜,调了三炉片子,全因为车间空调风带进来的梧桐絮,整批货全废了。他蹲在车间外的法国梧桐底下抽了一包红双喜,烟蒂堆了半脚边,风卷着絮飘到他的工服袖子上,他都不敢抬手拍,怕拍起来的灰又飘进车间门。

九十年代半导体光刻车间人工操作场景
九十年代半导体光刻车间人工操作场景

说实话,我爸到现在都对紫光灯有应激反应。家里买的紫外线消毒灯,他从来不敢按开关,一听见那滋滋的电流声,就下意识缩手腕。上次家里猫得猫癣,开了半小时消毒灯,他躲在阳台蹲了半小时,说那声音跟当年车间里曝光机启动的声音一模一样。

被换掉的旧设备

2015年的时候,厂里把所有老的光刻设备全换了。以前的老机器是半开放的,人要凑在镜头前面,盯着对准的刻度调位置,眼睛盯久了,看什么都飘着淡紫色的印子。新的设备是全封闭的,人站在外面的操作屏前面,连那束紫光都看不见,车间里的浮尘控制在每立方米个位数的程度,别说梧桐絮,连个屁大的灰都飘不进去。

他那时候反而不适应了。

以前守着老机器,一天下来虽然累,但是每一步都摸得着,胶滴下去的时候能看着转台转起来的纹路,曝光的时候能感觉到那束光隔着防护服照在皮肤上的温度。现在的新机器,所有参数都在屏幕上跳,他盯着看半小时,反而觉得空落落的,像以前天天一起蹲在车间门口抽烟的老同事,突然就全搬去别的厂区了。

新来的徒弟刚进厂的时候,追着他问光刻工艺到底是啥,不就是拿光把电路印在硅片上吗?我爸当时愣了半天,想讲点什么,比如讲当年那束紫光照在手腕上的疼,讲那只撞在胶面上的飞虫,讲蹲在梧桐树下抽烟的那个晚上,最后只憋出来一句,你没被那紫光照过,你不懂。

留在生活里的光刻印

留在生活里的光刻印
留在生活里的光刻印

他退休之后回南京住,楼下就是卖鸭血粉丝汤的摊子,每天早上端一碗粉丝上来,坐在阳台的旧工作台旁边擦他的紫砂杯。有次我换手机,把拆下来的旧主板递给他看,他拿在手里凑着阳台的灯,指腹摸着上面细细的线路,说你看,这上面的线,比我当年练手的片子上的细一百倍。

以前他总说光刻工艺是坐在冷飕飕的车间里赚辛苦钱,一天到晚守着机器,连个说话的人都没有。直到上次我给他买了个能测心率的手环,他戴在手上,跳出来的心率数值准得很,他盯着屏幕看了半天,突然说,这里面的小芯片,是不是也是用光刻工艺刻出来的?

不过话说回来,他当年守着老机器刻出来的芯片,只能用在最早的固定电话交换机里,现在的新设备刻出来的芯片,能装在手环里,能装在给独居老人用的呼叫器里,能装在我家那扇不用钥匙的智能门锁里。那些他熬了无数个夜盯着的细线路,其实早顺着电线,钻进了普通人的日子里,连他自己都没察觉。

上周他把那个旧的光刻废片,从绒布包里拿出来,摆在玄关的置物架上,旁边摆着我家猫打哈欠的拍立得,还有他平时喝茶的紫砂杯。有次楼下卖粉丝汤的老板上来串门,问这小玻璃片是啥,他就笑着摆手,说哦,以前干活的时候剩下的小零碎。

我擦置物架的时候把那玻璃片拿起来,对着客厅的顶灯看,上面的细线路像谁拿铅笔画了张特别小的地图。我爸在客厅泡茶,水壶开了,鸣笛尖声响起来,他吓了一跳,下意识缩了缩手腕。

作者|fawen

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